干涉顯微鏡表面光潔度的測定方法
發(fā)布時間:2020-10-28 10:25:48 文章分類： 點擊數(shù)：
精密加工過的試樣表面粗糙度常用干涉顯微鏡進行測量。電解拋光、化學
拋光過的試樣表面質(zhì)量也可以用干涉顯微鏡進行鑒定。如果表面有微小的谷峰
存在就會造成干涉條紋彎曲，根據(jù)測量干涉條紋彎曲的程度，即可測到光潔度。
關鍵詞：
干涉顯微鏡，表面光潔度，測量，金屬表面
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