微系統(tǒng)與微電子元件相比

發(fā)布時間:2020-03-17 13:09:12 文章分類： 點(diǎn)擊數(shù)：

微系統(tǒng)與微電子元件相比

 

如果我們把微系統(tǒng)與微電子元件進(jìn)行相比，則對于微系

統(tǒng)來說則具有一個明顯的三維結(jié)構(gòu)，對于這種結(jié)構(gòu)則就

是使用微注模技術(shù)制造的微光譜儀。

 

但是對于經(jīng)典的微系統(tǒng)的微機(jī)電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)來說，則特別

是對于傳感器和反射鏡系統(tǒng)在本質(zhì)來說則是一個二維的。

 

因此對于這一特征則主要是采用半導(dǎo)體材料和相對應(yīng)的

制造工藝微機(jī)系統(tǒng)的一個結(jié)果，因此在基于微機(jī)電系統(tǒng)

的產(chǎn)品來說則它的顯著特征則就普遍采用混合結(jié)構(gòu)。

 

對于微系統(tǒng)與微電子元件兩個性質(zhì)均可以影響到圖像的

處理與計(jì)算機(jī)的視覺對實(shí)現(xiàn)微機(jī)電系統(tǒng)的測試同樣有影

響。