如何利用晶體在電子束下通道效應(yīng)

發(fā)布時(shí)間:2019-08-04 09:41:09 文章分類： 點(diǎn)擊數(shù)：

如何利用晶體在電子束下通道效應(yīng)

 

如果我們利用晶體在電子束下通道的效應(yīng)，可以選擇

區(qū)電子衍射，進(jìn)行微區(qū)空間結(jié)構(gòu)的分析。

 

目前情況下電子選擇區(qū)域范圍可以小到二微米，如果

采用場(chǎng)致發(fā)射電子槍，則可以進(jìn)一步縮小到一百。

 

這樣就使得掃描電子顯微鏡在觀察物體表面時(shí)，成為

能夠進(jìn)行微區(qū)成分分析，同時(shí)還能夠進(jìn)行空間結(jié)構(gòu)分

析的全面儀器。

 

而同時(shí)從掃描電子顯微鏡中可以得到各種各樣表征樣

品標(biāo)本表面特征的圖像，而最近幾年發(fā)展到了透射掃

描電子顯微鏡。