光波干涉法與感觸法

發布時間:2018-03-30 09:16:13 文章分類： 點擊數：

光波干涉法與感觸法

 

在這里我們所說的光波干涉法，則是指光波干涉法利用光

波干涉顯微鏡與多光束干涉顯微鏡進行使用的一種方法。

 

同時在對光波干涉顯微鏡最大的優點來說則就是用來進行

測量精度高，同時還可以把所測量的精度高達0.001微米

到0.003微米。

 

但是對于光波干涉的使用與對光波干涉的調整是非常困難

的，不如光束顯微鏡應用的范圍廣泛。

 

而對于感觸法來說則是一個可以利用觸針方法直接在所需

要檢測的工件表面上輕輕的進行劃過，這樣就可以測定表

面粗糙度的值了。